王曦

1966年8月，王曦出生于上海，原籍江苏南通。1983年，从江苏省南通中学毕业，并考入清华大学工程物理系。1987年，提前毕业并保送到中国科学院上海冶金研究所（现中国科学院上海微系统与信息技术研究所，简称上海微系统所），主攻离子注入方向，先后获得硕士（1990年）、博士学位（1993年）。1993年，博士毕业后留所工作，先后担任助理研究员、副研究员、室副主任、研究员（1996年破格晋升）、博士生导师（1998年-）、室主任、所长助理。1993年7月，赴澳大利亚联邦科学与工业研究院访问学者（至1994年5月）。1996年5月，前往欧洲最大的离子束材料研究基地德国罗森多夫研究中心做洪堡访问学者。1998年6月，等不及还有一年才结束的洪堡访问学者研究，回国竞聘成为离子束国家重点实验室主任，同时担任“高端硅基SOI材料”制备研究项目的负责人。1999年，获得国家杰出青年科学基金资助。2001年7月，上海微系统所发起成立了上海新傲科技有限公司，王曦和SOI课题组的几位骨干一同进入公司。2004年4月，出任上海微系统所党委副书记兼副所长。2007年1月，出任上海微系统所党委书记兼副所长，上海新傲科技股份有限公司董事长，国家中长期科学与技术发展规划“极大规模集成电路制造技术及成套工艺（02专项）”科技重大专项总体专家组副组长。2009年3月，担任上海微系统所党委书记、常务副所长，法定代表人。12月，当选中国科学院院士（技术科学部）。2010年8月26日，当选为第十一届全国青年联合会副主席，担任科学技术界别工作委员会主任委员。2012年，被聘为上海市决策咨询委员会成员。2013年5月，在上海市科委和嘉定区支持下，在嘉定注册成立上海微技术工业研究院，参考比利时IMEC和台湾工研院ITRI等模式，建立集研发、工程、资讯、孵化及投资于一体的产业加速体系。2016年6月2日，中国科协第九次全国代表大会举行第九届全委会第一次会议，王曦当选中国科学技术协会第九届全国委员会副主席。2017年5月，出任中国科学院上海高等研究院院长。2018年6月，出任亚洲科学理事会主席（至2020年6月）。2019年4月，任科学技术部副部长、党组成员兼中国科学技术协会副主席。